参数 粗糙度，波纹度参数，p参数
轮廓元素 半径，距离，角度
测针 lpD10-10-2/60
lpD10-10-500
驱动器 MarSurf LD 130/ MarSurf LD 260
测量长度 0.1-130mm/0.1-260mm
测量范围 13mm（100mm测针）
13mm（200mm测针）
测力（z方向） 0.5mN to 30mN，可在App中设置
分辨率（z方向） 0.8mm
定位速度 0.02mm/s up to 200mm/s
残余误差 Rz0≤20mm
当vt=0.1mm/s Rq0≤1nm，典型
粗糙度参数：
Ra，Rq，Rz（Ry符合jls且与Rz对应），Rmax，RPc，Rz
(jls),Rt.Rp(Rpm符合ASME且与Rp对应)，Rv，R3z.
RSm,RS(与S对应，符合JIS)Rsk，Rku，Rdq，Rlp，Rdc.
R HSC . RMr*,RMr*.
核心粗糙度参数：
RK,RpK,RvK,RpKx,RvKx,Mr1,Mr2,A1,A2,V0
表面参数，p轮廓：
Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,P HSC,PPc.
PMr*,PMr*,PMr*,P TIR-1,P TIR-2.Rz(JIS 1962)
表面参数，w轮廓：
Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,WMr*.
WMr*,WMr*,W TIR-1,W TIR-2,Wst
表面参数，motif（iSO 12085）:
R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL,
ISO 5436 表面参数：
Pt5436 D
参数表：
Rz-L,Rp-L,R3-L,Rdc-L,RMr-L,
Pdc-L,PMr-L
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